May, G. S., & Sze, S. M. (2004). Fundamentals of semiconductor fabrication. John Wiley.
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Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)
May, Gray S., und Simon M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. New Jersey: John Wiley, 2004.
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MLA-Zitierstil (9. Ausg.)
May, Gray S., und Simon M. Sze. Fundamentals of Semiconductor Fabrication. John Wiley, 2004.
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